AFMinSEM

AFMinSEM

百及开发的原子力显微镜（AFMinSEMTM）空间结构紧凑，可在真空环境下实现高成像速度和高精度定位。

可集成在扫描电子显微镜（SEM）中实现样品的三维形貌表征，而不需要对SEM腔室进行额外的改造。附加新颖的微纳加工功能，如成像关联分析，扫描探针光刻，电子束诱导沉积，纳米加工（逆向工程，模板修复）等。

• 真空环境的微纳米结构表征制备系统

• 结构小巧，长X宽X高：110×70×50 mm

• 压阻读数和双材料激励全部集成在SmartProbe上

• 数据线标准法兰接口，适用于多数真空腔室

• 三轴纳米定位，水平移动范围20x20mm

功能指标：

[*reprinted with permission from J. Vac. Sci. Technol., B 36, 06J102 (2018); Copyright 1998 by American Institute of Physics]