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百及纳米科技开发的一款颠覆性的、具有高性价比的扫描探针显微镜，它使用主动式智能探针，集传感器、驱动器和可功能化的探针于一身，实现自激发和自传感，无需复杂的激光校准，是取代现有AFM激光传感的巨大改进。该系统可在大气、液态及真空环境下实现对微纳米结构的高速、高效表征，成像精度达到0.3 nm的精度。
大气、真空及液态环境兼容
自激发自传感智能探针
快速自动进针 无需激光调节
操作极其便捷 5秒快速换针
超高速扫描成像（100 lines/s）
实时光学显微镜定位扫描区域
多领域表面分析
工业领域快速抽检
晶圆片表面质量监控
弱机械力检测
质量传感器
生化检测识别
石墨(HOPG)高分辨图像
主动式探针
250nm 高度周期结构超快速扫描不失真
MEMS晶圆检测 
血细胞液相表征
高纵横比探针及深沟槽成像
| 工作环境 | 大气，真空，液态 |
| 进针模式 | 自动 （无需激光对准） |
| 探针调谐 | 自动 |
| 探针激发模式 | 双材料热机械激发 |
| 信号探测原理 | 压阻传感 |
| 扫描范围 (可扩展) | 标准扫描范围: 10 μm × 10 μm × 5 μm 最大水平扫描范围: 200 μm × 200 μm |
| 扫描模式 | 接触式，非接触式 |
| Z位置噪声 | < 200 pm RMS |
| 探针最快移动速度 | X-Y：5 mm/s Z：11.67 mm/s |
| 成像精度 | 0.3 nm 横向，0.5 nm 纵向 |
| 扫描速度 | 0.1 线每秒 至 10 线每秒 |
| 三维形貌图 | YES |
| 振幅/相位图 | YES |
| 力曲线图 | YES |
| 实时图像显示 | 二维形貌、三维形貌、相位、频率、振幅 |
| 可选功能 | MFM（磁力显微镜）EFM（静电力显微镜） PFM（压电力显微镜）C-AFM（导电原子力显微镜）SThM（扫描热显微镜） |
| 高纵横比针尖形貌 测量范围 | 纵向测量深度：1 nm 至 100 μm 横向测量宽度：最小可小于30 nm |
| 分辨率振幅/相位 | 16-bit |
| 反馈控制平台 | 实时FPGA |
| 前端带宽 | 8 MHz |
| 计算机接口 | USB, 以太网可选 |
| 传感器调节 | 0-4 V可编程电桥 |
| 传感器本底噪声 | 成像带宽为1 kHz时<60 pm RMS |
| 控制器/软件 | nanoMetronom 80 MHz 控制器/ NANO-COMPASS BASIC |
| 样品尺寸 | 直径：100 mm，厚度：30 mm（可扩展） |
| 样品传动 | 手动样品移动范围：25 mm × 25 mm |
| 辅助观察 | 双USB摄像头，500万像素彩色相机，5倍放大，1.75 mm × 1.25 mm 可视区 |
| 实时修正 | 线, 面, 多项式 |
| 轮廓线测量 | YES |
| 粗糙度测量 | YES |
| 对比度/亮度调节 | YES |
| 多色彩调节 | YES |
| 3D 图像 | YES |
| 线平均 | YES |
| 图像输出 | bmp, png, jpg格式 |
| 原始数据输出 | txt格式 |
| 图像后续处理软件 | Gwyddion, WSxM |
电 话：021-50308901
邮 箱：parcan@parcantech.com