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纳米马达/操纵机械手

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 纳米马达  纳米马达  纳米马达

纳米马达

微纳技术的基础是实现微纳米的准确定位。众所周知,利用压电晶体可以获得原子量级的定位精度,且广泛用于SPM等系统中。但是,虽然压电晶体可以得到如此高的分辨率,但他的行程却只能到微米量级,只能在很小的范围内实现精密定位。Klocke博士和他的团队用他们巧妙的设计,利用"纳米马达"在厘米量级的行程内实现纳米级定位,跨越八个数量级!


1. 纳米马达


他们利用脉冲电压驱动的方式,使得圆柱形压电晶体管在滑动轴上准确移动,实现精密定位的。运动速度可达1mm/s.压电晶体内部是中空的,可以安装针尖、微管、电极、皮下注射针头、玻璃纤维甚至微型夹具。各种微型部件均有不同的用途,用户可根据自己的实际需要进行选择。


主要参数:


  • 原子量级分辨率
  • 行程5-19mm
  • 牵引力:可提起重量大于25g的物体
  • 运动速度大于2mm/s
  • 尺寸非常小
  • 适应多种环境,包括超高真空环境,极低温环境及液态环境等


Klocke 纳米马达 

纳米马达


Nanomotor已成为Klocke NanoTechnik公司的注册商标,成为公司的代名词,这也是对公司在微纳米领域所作巨大贡献的肯定。


2. 纳米定位-线性工作台


精密定位技术在现代科学研究中发挥着重要作用。Klocke Nanotechnik公司早上世纪几十年代便开始了该领域的研究,到现在已有十五年的历史。在公司上百种纳米定位与操纵装置中,NMT纳米定位平台有着非常好的性能。平台采用模块化设计,可以任意组装可实现XY二维运动及XYZ三维运动。具有厘米级行程及纳米级运动分辨率。其出色的纳米级定位功能,为通向微观领域搭起了桥梁。


该平台广泛应用于微系统、通信、半导体技术、生物技术以及航空航天技术等领域均有广泛的应用。并可与扫描电子显微镜出色结合,实现微纳米尺度的操纵。


NMT纳米定位平台


  • 2nm分辨率
  • 重复定位精度好于10nm
  • 行程5~70毫米
  • 最大载重量2000克
  • 尺寸非常小
  • 模块化设计,组装灵活
  • 可用于真空环境
Klocke 纳米定位平台1
Klocke 纳米定位平台2


水平方向定位:


典型型号

行程

[mm]

最大载重

[kg]

长度

[mm]

宽度

[mm]

高度

[mm]

NDN-辊道

NMT 10-L

10

0.2

50

17

13

NDN 05-20.10

NMT 20-L

20

0.2

60

17

13

NDN 05-30.20

NMT 10

10

1

40

26

13

NDN 05-20.10

NMT 20

20

1

50

26

13

NDN 05-30.20

NMT 30

30

1

60

29

13

NDN 1-40.30

NMT 50

50

2

80

34

13

NDN 2-60.50

NMT 60

60

2

90

34

13

NDN 2-70.60

NMT 70

70

2

100

34

13

NDN 2-80.70



垂直方向定位:



典型型号

行程

[mm]

最大载重

[kg]

高度

[mm]

基座面积

NDN-辊道

NMT Z10

10

0.05

40

20 x 24

NDN 05-20.10

NMT Z20

20

0.1

50

20 x 24

NDN 05-30.20



敞形框架结构平台


Klocke 纳米定位平台1
  • 分辨率小于1nm
  • 行程5~50毫米
  • 最大载重量50克
  • 尺寸非常小
  • 低驱动电压
  • 可用于真空环境


典型型号
  • 45mm x 45mm, 5 mm 行程
  • 67mm x 67mm, 10 mm 行程