微纳技术的基础是实现微纳米的准确定位。众所周知,利用压电晶体可以获得原子量级的定位精度,且广泛用于SPM等系统中。但是,虽然压电晶体可以得到如此高的分辨率,但他的行程却只能到微米量级,只能在很小的范围内实现精密定位。Klocke博士和他的团队用他们巧妙的设计,利用"纳米马达"在厘米量级的行程内实现纳米级定位,跨越八个数量级!
他们利用脉冲电压驱动的方式,使得圆柱形压电晶体管在滑动轴上准确移动,实现精密定位的。运动速度可达1mm/s.压电晶体内部是中空的,可以安装针尖、微管、电极、皮下注射针头、玻璃纤维甚至微型夹具。各种微型部件均有不同的用途,用户可根据自己的实际需要进行选择。
纳米马达
Nanomotor已成为Klocke NanoTechnik公司的注册商标,成为公司的代名词,这也是对公司在微纳米领域所作巨大贡献的肯定。
精密定位技术在现代科学研究中发挥着重要作用。Klocke Nanotechnik公司早上世纪几十年代便开始了该领域的研究,到现在已有十五年的历史。在公司上百种纳米定位与操纵装置中,NMT纳米定位平台有着非常好的性能。平台采用模块化设计,可以任意组装可实现XY二维运动及XYZ三维运动。具有厘米级行程及纳米级运动分辨率。其出色的纳米级定位功能,为通向微观领域搭起了桥梁。
该平台广泛应用于微系统、通信、半导体技术、生物技术以及航空航天技术等领域均有广泛的应用。并可与扫描电子显微镜出色结合,实现微纳米尺度的操纵。
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水平方向定位:
典型型号 |
行程 [mm] |
最大载重 [kg] |
长度 [mm] |
宽度 [mm] |
高度 [mm] |
NDN-辊道 |
NMT 10-L |
10 |
0.2 |
50 |
17 |
13 |
NDN 05-20.10 |
NMT 20-L |
20 |
0.2 |
60 |
17 |
13 |
NDN 05-30.20 |
NMT 10 |
10 |
1 |
40 |
26 |
13 |
NDN 05-20.10 |
NMT 20 |
20 |
1 |
50 |
26 |
13 |
NDN 05-30.20 |
NMT 30 |
30 |
1 |
60 |
29 |
13 |
NDN 1-40.30 |
NMT 50 |
50 |
2 |
80 |
34 |
13 |
NDN 2-60.50 |
NMT 60 |
60 |
2 |
90 |
34 |
13 |
NDN 2-70.60 |
NMT 70 |
70 |
2 |
100 |
34 |
13 |
NDN 2-80.70 |
垂直方向定位:
典型型号 |
行程 [mm] |
最大载重 [kg] |
高度 [mm] |
基座面积 |
NDN-辊道 |
NMT Z10 |
10 |
0.05 |
40 |
20 x 24 |
NDN 05-20.10 |
NMT Z20 |
20 |
0.1 |
50 |
20 x 24 |
NDN 05-30.20 |
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典型型号 |
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